Kiihtyvyysanturin toiminta perustuu Newtonin toiseen lakiin F = ma. Yleisimmin käytetyissä anturimalleissa on massa, joka on kiinnitetty pietsosähköiseen keraamiseen kiteeseen. Värähdellessään massa aiheuttaa kiteeseen mekaanisen jännityksen, joka kiteessä muuttuu kiihtyvyyteen verrannolliseksi varaukseksi. Kiihtyvyysanturit voivat olla joko varaustyyppisiä tai IEPE-tyyppisiä. Nykyisin pääosa teollisuuden kiihtyvyysantureista on IEPE-tyyppisiä, vakiovirtasyöttöisiä, antureita. Laajan taajuusalueen omaavina, kiihtyvyysantureilla voidaan valvoa mm. laakereiden ja hammasvaihteiden kuntoa